마이크로/나노공학

RT618 마이크로/나노공학

과목번호	RT618
학점/이론시수/실습시수	3/3/0
교과구분	교선필수
이학/공학	공
대분류	기초공학
소분류	기계공학
최초개설연도
교수자
개설학년	4
개설학기
교재	[[file:|100px]]
선수과목

개요

본 교과목에서는 마이크로 기계-전자 시스템(micro-electro-mechanical systems: MEMS)과 나노 기계-전자 시스템(nano-electro-mechanical systems: NEMS)을 위한 기초적인 공정, 모델링, 해석 기술에 대하여 강의가 진행된다. 대략적으로 다루게될 주제들은 Micro-/Nano- 크기에서의 공정방법, 재료, 센싱 및 엑츄에이션 기법, 모델링 기법 등이다. 학생들은 팀을 구성하여 하나 이상의 팀프로젝트를 수행할 예정이다.